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光學(xué)行業(yè)真空鍍膜設(shè)備如何進行保養(yǎng)

點擊次數(shù):2509 更新時間:2016-10-31

光學(xué)行業(yè)真空鍍膜設(shè)備如何進行保養(yǎng):

光學(xué)真空鍍膜設(shè)備主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組限及電柜(控制電柜、電子槍電樞)組成,其

廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)成膜、民用裝飾、表面工程等領(lǐng)域。光學(xué)真空鍍膜設(shè)備在防止油污染和縮短

工作周期等方面具有的性能。

光學(xué)真空鍍膜設(shè)備工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當?shù)臏囟龋?/p>

材料受熱后蒸發(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大,蒸發(fā)出來的蒸汽分子向

四處直射,碰到基片就沉積在基片表面形成臘層。

精密光學(xué)真空鍍膜設(shè)備在保養(yǎng)的時候有哪些保養(yǎng)方面的措施,下面的內(nèi)容中我們就來了解。

一、定期更換擴散泵油

真空鍍膜機擴散泵油使用一段時間,約二個月兩班:,因在長期高溫環(huán)境,雖然較高真空時才啟動擴

散泵,但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴散泵油起反應(yīng),擴散泵油在高溫下也可能產(chǎn)生裂解,使其品

質(zhì)下降,而延長抽氣時間。在我們認為時間延長得太多時,應(yīng)予更換。

二、真空泵

真空鍍膜機機械泵油、維持泵油在使用二個月,油質(zhì)會發(fā)生變化。因油可能抽入水分、雜質(zhì)及其它原

因,而使用油粘性變差,真空下降,故需要更換。如為新設(shè)備,在使用頭半個月即應(yīng)更換,因在磨合

期,油含磨合鐵粉較多,會加劇磨損。

三、清潔衛(wèi)生

定期將真空鍍膜設(shè)備及其周圍環(huán)境衛(wèi)生搞好,常保持設(shè)備內(nèi)外清潔,將真空鍍膜設(shè)備周圍環(huán)境整理有

條,有一個好的工作環(huán)境,以保安全。

 

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